赛米莱德公司-NR9 3000PY光刻胶价格

光刻胶介绍

光刻胶(又称光致抗蚀剂)，nr9 3000py光刻胶价格，是指通过紫外光、准分子激光、电子束、离子束、x射线等光源的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀刻材料。光刻胶具有光化学敏感性，nr9 3000py光刻胶，其经过---、显影、刻蚀等工艺，nr9 3000py光刻胶多少钱，可以将设计好的微细图形从掩膜版转移到待加工基片。因此光刻胶微细加工技术中的关键性化工材料，被广泛应用于光电信息产业的微细图形线路的加工制作。生产光刻胶的原料包括光引发剂包括光增感剂、光致产酸剂、光刻胶树脂、单体和其他助剂等。

二、预烘和底胶涂覆pre-bake&primer vapor

由于光刻胶中含有溶剂，所以对于涂好光刻胶的硅片需要在80度左右的。硅片脱水烘焙能去除圆片表面的潮气、增强光刻胶与表面的黏附性、通常大约100 °c。这是与底胶涂覆合并进行的。

底胶涂覆增强光刻胶(pr)和圆片表面的黏附性。广泛使用: (hmds)、在pr旋转涂覆前hmds蒸气涂覆、pr涂覆前用冷却板冷却圆片。